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    什么是AMC以及相關要求

    時間:2021-10-14 13:11:43 作者:小編 點擊:

      AMC為Airborne Molecular Contaminants的縮寫,從字面意義來看,是初始狀態為氣相。行為像單一分子的氣態污染物,或者說是在環境中有能力沉降于材料表面形成單分子層薄膜的化學污染物,譯為“懸浮分子污染物”或“氣載分子污染物”。 

     

            簡言之,AMC就是對產品或工藝設備及其流程有不良影響的非粒子狀的懸浮化學污染物。 

     

            現在,在世界上的很多地方,外界空氣中的臭氧、硫、氮氧化物、可揮發性有機物(VOC)的含量足以對 無塵車間 造成影響。在城市中可以檢測到足夠濃度的汽車尾氣和燃燒產生的硫和 氮氧化物,在沿海地區可以發現大氣中的氯和硼,在農業活動中則會產生氨和有機胺。 

     

            AMC會對原料、工藝、最終產品、生產和機械設備產生不同程度的損害。 

     

            國際半導體設備和材料協會在SEMI F21-95,F21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標準適用于半導體業的潔凈環境,指定了4個“標準范圍”:酸(MA),堿(MB),冷凝物(MC),雜物(MD)。 

     

            每一類AMC分為五個等級。該標準采用的是FS-209E的術語1,10,100等,但不是單位體積的粒子數量,而是以pptM表示濃度。pptM單位是物質克分子量的縮寫,表示億萬分之一摩爾。 

     

            ISO及其TC209技術委員會準備了懸浮分子污染物的ISO新標準,該標準的范圍比SEMI標準更寬,其目標是涵蓋所有對產品或工藝有危險的AMC,不僅適用于半導體生產,也適用于藥品生產。 

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